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《 薄膜光学与镀膜技术 》李正中

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学课堂作者簡介李正中目次學歷:成大物理系學士(1969)成大物理系项士(1974)經歷:成大物理系助教序中科院副研究员符號表xi1.引言12.基本理論66中央大學光電所所長单界面之反射奥透射16早層膜之反射奥透射37多層膜之反射奥透射56多層膜矩陳的一些特性61Applied Optics,Optics letters,Optical Engineering Optics非相干性之反射奥透射65Communications等學術期刊之客查3.光學薄膜設計之圖示法73合著嵩:l.“Ion beam sputtering'”,I99s,Chapter of“Thin Films for Optical向量法73System”,Ed.byF.R.Flory,Marcel Dekker Inc.出版·4.分光镜119中性分光镜119雙色分光镜127偏振光分光镜1305.高反射镜135金属膜反射镜135全介電質膜高反射镜150156159vii166367非干涉型裁止滤光片166378167薄膜表面輪廓及祖糙度的量测379384192388高低折射率膜堆法192393195薄膜成份之分析39439520320314.光學薄膜材料401204光學薄膜之基本要求4012204082344149.斜向入射薄膜24315.光學滤光片製镀範例416斜向入射時薄膜折射率之修正243416斜向入射時光學導納之修正245基板的準備422250423264425非光學特性之检验42610.光學薄膜的製镀方法267427267270附绿一光學薄膜材料特性429增能助镀及其他方法290附绿二有閘薄膜光學原理、製作及检测之参考書奥食議43411,光學薄膜之特性奥製镀技術的改進292各種改進膜質的製镀方法303名詞索引437混合式改進法32032632812.薄膜厚度之均匀性及鍍膜厚度之盖控333333實作基板支撑架及膜厚盥控的選择34513.光學薄膜特性的量测356356
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