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一定义:表面缺陷标准:依据美国军用标准ML-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。道子、亮路都统称为划痕。斑点、坑点、点子都称为麻点。规定长与宽的比大于4:1的为划痕:长与宽的比小于4:1的为麻点。当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。划痕:以美国军用标准《ML-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80#5个级。§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。例如:元件的表面质量要求为60一40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60一40,有2条60#长为3mm划痕。它的等效直径为20mm1/4D为1/4×20=5mm最大划痕的长度和为:3mm+3mm=6mm6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。3.当元件存在最大划痕,而最大划痕的长度之和未超过1/4D,要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数的一半。例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60一40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。它的等效直径为20mm1/4D为1/4×20=5mm最大划痕的长度和为:2mm+2mm=4mm4mm<5mm。符合2条。但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:1.60#划痕长度为(2+2):40#划痕长度为(4+4+4+4)2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20:40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4+4)/203.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:[60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36元件最大划痕级数为60:60的一半为60/2=30)36>30:因此,元件不合格。4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。例①:元件为E10,表面质量指标60一40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10mm.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:[50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66元件最大划痕为60#66>60:因此,元件不合格。5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。例:表面质量指标为20-10,20mm,在如图(1)所示的区或有2条长1mm
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