176单光源阵列0(6)阵列光源0图5一17微光学阵列器件光功供给的三种策略米米光源光斑oo光源光斑图5-·18 Dammann阵列照明器的光斑点阵(a)单光源照明：()两个光源照明。177R图5一19受朗奇光册衍射产生虚光源照明的Dammann光栅图5一20表示了Talbot光栅的多光源照明情形。与Dammann光栅相比，光斑尺寸与光斑距离比值的选择自由度受到更多的限制。边缘光斑的损失与Dammann光栅相同。图5一20丁albot光栅的多光源照明四、鲁棒性与光效率鲁棒性是指输出光斑的均匀性抵制光栅缺陷或光源不均匀性等影响的能力。该特性也可由光源与光栅衍射之间的离散卷积关178系来解释（图5一21），同从中评佔光效率问题。5一18所小示的两种常用装置原则上可以实现100%的光效率，但在混合型装置中，不可能将入射光能100为地均分到个接收器上。例如，在图5-21(a)中，三个光源与九个衍射级次卷积，结果是七个光班的均匀性得到改善，其周围尚有四个较弱的光斑，呈梯形包络。光源响应(a)(b)(d)图5…21鲁棒性与光效率的解释设光掰将入射光分成N个衍射级次且光效率为100%，但光斑均匀性不甚好。若用M个非相干的照明光源，则M个光源与W个衍射级次的卷积结果是N+M一1个输出光斑，其中N一M+1个有较好的均匀性。这些光斑在100%光效率中占有的成分是N(5-71)但一个M×M二维光源阵列与N×N个衍射级次组合时，将有(N一M+1)×(N-M+1)个等光强光斑输出，其周围仍有某些较弱者。这时，均匀光斑的部分光效率为