使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。https://img.jishulink.com/upload/202310/4e7c228ff221453586d42f94798fca5b.png
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
建模任务
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单次FMM仿真结果
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参数扫描（1D）
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参数扫描（2D）https://img.jishulink.com/upload/202310/7c706b37155a46d391945b27d5066996.png
文件信息
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