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使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

zhangyifan 发表于 2023-10-20 09:24:16 | 显示全部楼层 |阅读模式

可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。

傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
建模任务

单次FMM仿真结果

参数扫描（1D）

参数扫描（2D）

文件信息

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