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光束整形 – 从深紫外到中红外的光束整形
optkt
2023-2-28 22:55
光束整形是一项重要的激光材料加工技术,特别在增材制造、深紫外光刻等领域具有广泛应用。折射式和衍射式是两种主要的光束整形设计方法。Top-hat光束整形器可将高斯分布能量重新分配为平顶分布,是定制化光学器件的重要工具。高纵横比光束线也具有重要的应用价值。
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