JCMSuite应用—衰减相移掩模

Trigger · 发表于前天 10:15

在本示例中，模拟了衰减相移掩模。该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。掩模的单元格如下图所示：

1-210R622155O14.png.jpg

掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方，位于相移区域。

由于这个例子是所谓的一维掩模(线/空间模式)，在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签，以执行用户自定义传入方向的自动转换。启用此标记后，就可以描述传入区域，就好像光轴与Z轴重合一样。这允许统一设置2D和3D的掩模模拟项目。由于光线从基板下方进入，光线的传输方向为+Z方向。

相位分布如下图所示：

1-210R6221632637.png.jpg

相移区域的影响清晰可见，导致开口上方光束的180度相位差。同时光场的S和P分量也显示出相位差：

1-210R6221F64U.png.jpg

JCMSuite应用—衰减相移掩模

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