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TRCX应用：显示面板工艺裕量分析

Trigger 发表于 2025-3-6 09:46:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素，如CD余量，掩膜错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果，包括分布式计算环境中的寄生电容分析，以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。

1-24022115523L07.jpg.jpg

（a）参照物

1-240221155302451.jpg.jpg

（b）膜层未对准

TRCX, 显示面板, 仿真

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