在ZEMAX中模拟硅光芯片的出光需要使用其“非序列模式”或“序列模式”（具体取决于你的设计要求和细节程度）。对于一个简单的波导结构，以下是一些基本步骤：
1. **建立材料属性：**
- 在ZEMAX中定义硅和二氧化硅等材料的折射率。可以通过“玻璃目录”来创建新的材料。
- 对于1310nm波长，硅的折射率约为3.48，而二氧化硅通常约为1.44。确保这些值被正确地输入到材料库中。
2. **设计波导结构：**
- 使用序列模式或非序列模式，定义你的波导结构。
- 为序列模式，你可以使用“二维结构”的工具来定义横截面，然后使用“厚度”一栏中的“改变参数”来设置波导的长度。
- 在非序列模式中，可以使用长方体或其他形状来表示波导，并设定其几何尺寸（宽160nm, 高100nm）及材料属性。
3. **设置光源：**
- 定义一个合适的光源，光源波长应设置为1310nm。
- 在序列模式中，你可以使用平面波入射来模拟入射光。
- 在非序列模式中，可以添加光源对象，并设置发射属性，确保其符合芯片的输入条件。
4. **模拟与分析：**
- 设置你的探测面或者观察屏，以便捕捉出光的特性。
- 运行追迹（ray-trace）以确定出光的分布情况。
- 使用不同的分析工具和图表，例如强度分布、光束轮廓等，以了解光的行为和效率。
5. **优化与调整：**
- 根据初步分析结果，调整波导的几何参数或材料属性以优化光输出。
- 可能需要多次迭代测试和调整，确保达到预期性能。
请注意，ZEMAX在处理纳米尺度的光学设计时，其精度可能受到限制，尤其是涉及到复杂的衍射效应时。如果发现ZEMAX不够用，可能需要考虑集成其他软件，如FDTD Solutions等，进行更详细的模拟。
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