VirtualLab:光栅的优化与分析

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讯技casey 发表于 2024-10-12 08:36:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
光栅是光学工程师使用的最基本的工具。为了设计和分析这类组件,快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion为用户提供了许多有用的工具。其中包括参数优化,以轻松优化系统,以及参数运行,它允许您执行参数扫描,以研究这些参数对设置的总体效果的影响。此外,还可以用于详细研究具体制造过程中的偏差引入的影响。不同的求解器也可以供您使用来模拟场与光栅的相互作用,具有不同的假设和相应的近似水平。这些方法的范围从严格的傅里叶模态法(FMM)到适用于具有浅浮雕大型结构的薄元近似法(TEA)。

薄元素近似法(TEA)对比傅里叶模态法(FMM)进行光栅建模

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研究了两种常用但原理不同的分析光栅衍射效率的算法: TEA和FMM(也称为RCWA)。比较了不同周期的两种类型的光栅(正弦和闪耀)结果。

倾斜光栅的参数优化及公差分析

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以傅里叶模态法(FMM)作为参数优化的核心,设计了一个倾斜光栅来实现高衍射效率将光耦合到光波导中的目的。此外,还分析了包括圆角边缘在内的制造公差。

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