菲索光学测试干涉仪

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讯技casey 发表于 2024-9-19 08:35:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
摘 要

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。

1-1Z52Q0460U39.png.jpg

建模任务

1-1Z52Q04632948.png.jpg


倾斜平面下的观测条纹

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圆柱面下的观测条纹

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球面下的观测条纹

1-1Z52Q04J42T.png.jpg

VirtualLab Fusion 视窗

1-1Z52Q04P92a.png.jpg

VirtualLab Fusion 流程

1-1Z52Q04TG06.png.jpg


VirtualLab Fusion 技术

1-1Z52Q04Z9364.png.jpg


文件信息

1-1Z52Q0493KT.png.jpg


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