高NA物镜聚焦的分析

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讯技光电HERO 发表于 2024-8-20 09:57:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
摘要

高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。

1-1Q210141S0B6.png

建模任务




概观

1-1Q21014202H61.png


光线追迹仿真

•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
•点击Go!
•获得3D光线追迹结果。
1-1Q2101423224L.png




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