高NA物镜聚焦的分析

讯技光电HERO · 发表于 2024-8-20 09:57:32

摘要

高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。

建模任务

概观

光线追迹仿真

•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。
•点击Go！
•获得3D光线追迹结果。

高NA物镜聚焦的分析

快速回帖

关于楼主