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TRCX：掺杂过程分析

讯技光电HERO 发表于 2024-7-10 09:51:36 | 显示全部楼层 |阅读模式

在 LTPS 制造过程中，使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时，应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容，并分析有源层离子注入前后的电位分布，如下图所示。

1-211229210404260.png.jpg

(a)FIB

1-211229210511D2.png.jpg

(b) 掺杂前后对比

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