白光迈克尔逊干涉仪

摘要 白光干涉测量法是一种非接触式技术，用于精确测量，例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源，在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性，即有限的相干长度，结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。

2. 干涉条纹的变化

3. VirtualLab Fusion概览

4. VirtualLab Fusion中的工作流程 设置输入场- Basic Source Models [教程视频] 定义组件的位置和方向- Basic Source Models [教程视频] 正确设置通道以进行非顺序跟踪- Basic Source Models [使用案例] 使用参数运行检查影响/变化- Usage of the Parameter Run Document [用例]

5. VirtualLab Fusion 技术

6. 文件和技术信息