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菲索光学测试干涉仪

zhangyifan 发表于 2023-12-12 09:33:27 | 显示全部楼层 |阅读模式

摘要

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。

建模任务

倾斜平面下的观测条纹

圆柱面下的观测条纹

球面下的观测条纹

VirtualLab Fusion 视窗

VirtualLab Fusion 流程

VirtualLab Fusion 技术

文件信息

斐索干涉仪, 光学计量设备, 光学表面质量, 非顺序追迹, 干涉条纹

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