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摘要
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 
设计任务 
1级参数优化 
结果-容差分析 
结果-容差分析 
VirtualLab Fusion一瞥 
VirtualLab Fusion中的工作流程
构建光栅结构 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] −倾斜光栅高级设定[用例] •光栅衍射效率分析 −光栅阶序分析器[用例] •使用参数优化进行光栅参数优化 •使用参数运行的容差分析
VirtualLab Fusion技术 
文件信息 
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