高NA (数值孔径)物镜的分析

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zhangyifan 发表于 2023-11-9 09:29:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

高NA(数值孔径)物镜常用于光学显微及光刻,并已广泛在其他应用中得以使用。众所周知,在高数值孔径物镜的使用中,电磁场矢量特性的影响是不可忽略的。一个众所周知的例子就是由高NA(数值孔径)物镜聚焦线性偏振圆光束时,焦斑的不对称性:焦斑不再是圆的,而是拉长的。我们通过具体的物镜实例来说明了这些效应,并演示了如何在VirtualLab Fusion中使用不同的探测器分析焦斑。


                                    高数值孔径物镜的聚焦分析




高数值孔径(NA)物镜广泛用于光学光刻、显微系统等。在对焦斑的模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。


                              数值孔径(NA)物镜系统的先进点扩散函数计算




当线性偏振高斯光束经高数值孔径(NA)非球面透镜聚焦时,由于矢量效应,焦平面上的PSF呈现非对称性。


有关更多信息,请发送邮件至: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com

网址: http://www.infotek.com.cn / http://www.honglun-seminary.com




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