白光迈克尔逊干涉仪

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zhangyifan 发表于 2023-11-8 10:18:40 | 显示全部楼层 |阅读模式

1. 摘要


白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。





2. 建模任务




3. 干涉条纹的变化




4. 走进VirtualLab Fusion




5. VirtualLab Fusion 中的工作流程


输入场设置

基本光源模型[视频教程]

定义元件的位置和方向

光路图II:位置和方向[视频教程]

正确设置非序列追迹通道

非序列追迹的通道设置[使用案例]

使用“参数运行”检查影响/变化

“参数运行文件”的使用[使用案例]



6. VirtualLab Fusion 技术



7. 文件信息




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