大口径的Zygo干涉仪的量程取决于仪器的具体规格和技术参数。一般情况下,大口径的Zygo干涉仪能够测量的有效范围会比较大。
以600mm口径的Zygo干涉仪和800mm口径的干涉仪为例,它们通常可以测量的有效范围如下:
- 600mm口径的Zygo干涉仪:通常可以测量直径为600mm以内的物体表面形貌和光学参数。
- 800mm口径的Zygo干涉仪:通常可以测量直径为800mm以内的物体表面形貌和光学参数。
需要注意的是,这只是一般情况下的估计范围,具体的量程还会受到仪器精度、测量方法等因素的影响。在实际使用前,建议参考仪器的技术规格或咨询厂家以获得准确的信息。
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