Zygo激光干涉仪是一种利用干涉原理来测量光学元件表面形貌的仪器。其工作原理如下：
1. 激光束从激光发生器发出，经过一系列的透镜和分光镜组成的光路系统，被分成两条光路，一条作为参考光路，另一条作为测试光路。
2. 参考光路中的激光束通过调节反射镜，使其与测试光路中的激光束相遇，形成一个干涉图案。
3. 当测试光路中的激光束照射到被测样品表面上时，激光束会被反射回来，与参考光路中的激光束再次相遇。
4. 经过干涉之后，两个光束的相位差会产生变化，这个相位差的变化取决于样品表面的形态和反射特性。
5. Zygo激光干涉仪会检测这个相位差的变化，并将其转换为样品表面形貌的数据，从而实现对样品表面形貌的测量。
总的来说，Zygo激光干涉仪利用干涉原理将测试光路中的激光束与参考光路中的激光束进行干涉，通过检测干涉图案的变化，从而获得样品表面形貌的数据。
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