半导体激光器的腔内损耗通常由以下几个因素组成：
1. 反射镜损耗：由于反射镜并非绝对完美，每次反射都会有损耗，这就是反射镜损耗。
2. 振荡模式散射：当激光波长很短时，振荡模式会与晶格的不规则性相互作用，导致光子向其他方向散射而损失，这就是振荡模式散射。
3. 辐射损耗：当激光从半导体激光器中发射出来时，会向外辐射，因此会有一定的辐射损耗。
4. 吸收损耗：光在激光器中传播过程中，可能会被杂质吸收，产生能量损耗，因此会有一定的吸收损耗。
这些因素的累积会导致腔内损耗增加，使得激光输出功率降低。
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