以下是几篇关于亚波长结构薄膜的制备方法的论文：
1. Y. Hao, L. Zhou, and L. Liu, "Fabrication of Metallic Nanostructures with Novel Optical Properties," Advanced Materials, vol. 21, no. 48, pp. 4862-4867, 2009.
2. N. Engheta and R. W. Ziolkowski, "Metamaterials: Physics and Engineering Explorations," John Wiley & Sons, 2006.
3. X. Liu, T. Tyler, T. Starr, A. F. Starr, N. M. Jokerst, and W. J. Padilla, "Taming the Blackbody with Infrared Metamaterials as Selective Thermal Emitters," Physical Review Letters, vol. 107, no. 4, pp. 045901, 2011.
4. J. B. Pendry, "Negative Refraction Makes a Perfect Lens," Physical Review Letters, vol. 85, no. 18, pp. 3966-3969, 2000.
5. B. Zhang, Y. Tanaka, and S. Kawata, "Two-Dimensional Imaging of a Three-Dimensional Object Using Holographic Optical Tweezers," Applied Physics Letters, vol. 88, no. 9, pp. 091108, 2006.
现在亚波长结构薄膜的发展已经非常快速，主要是因为其具有许多优异的性能，如超分辨、光学响应、表面等离激元共振、量子效应等。 在目前的研究中，亚波长结构薄膜的制备方法主要包括以下几种：
1. 离子束刻蚀法：通过使用离子束刻蚀技术，可以实现亚波长尺寸的微纳加工。
2. 溅射沉积法：使用溅射沉积技术，可以在基底上生长出具有亚波长结构的薄膜。
3. 共振光刻法：通过利用共振光刻技术，可以将亚波长结构模板转移到目标物质上，从而形成具有亚波长结构的薄膜。
4. 自组装法：在自组装法中，可以使用自组装单元来形成亚波长结构的薄膜，例如纳米颗粒、纳米线和分子自组装等。
总之，亚波长结构薄膜的制备方法正在不断发展和改进，这将为日后开发出更多具有高性能的亚波长结构薄膜提供有力的支持。
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