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用于光学检测的斐索干涉仪

cherryjhy 发表于 2023-5-8 08:53:07 | 显示全部楼层 |阅读模式

摘要

斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。

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建模任务

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测试表面

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非序列追迹

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通用探测器和探测器附加组件

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总结-组件…

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观测下的倾斜平面

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被观测圆柱面

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被观测球面

斐索干涉仪, 光学检测, 高精度测试, Fizeau干涉仪, 圆柱形表面, 球形表面

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