4. 总结
研究了迈克尔逊干涉仪装置白光干涉图案并应用于高度轮廓扫描
1. 仿真
用光线追迹对干涉仪的仿真。
2. 计算
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
3. 研究
测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量
利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
4. 总结
研究了迈克尔逊干涉仪装置白光干涉图案并应用于高度轮廓扫描
1. 仿真
用光线追迹对干涉仪的仿真。
2. 计算
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
3. 研究
测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量
利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
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