3. 结果：测量路径长度的变化
对所用白光光源的时间相干性进行研究。
因此，利用参数耦合和参数运行，使测量路径的长度在由199.99mm到200.01mm之间变化。
为生成干涉图样，通过使用绝对方向将反射镜2倾斜0.005°
结果可以以独立的文件或动画进行输出。
由此产生氙气灯的相干长度数量级约为1µm。
4. 轮廓扫描干涉仪
由一个样本替换反射镜2，该样本具有特定的轮廓。
改变路径长度并结合有限的相干长度，可对样本的高度轮廓进行研究。
因此，对于相同的路径长度，接受到的最大光强能够体现高度等级。
相长干涉得到最大光强。
5. 结果：轮廓扫描干涉仪
计算3个不同路径长度的光强分布(200mm,200.1mm,200.2mm)。
被研究的仿真样本(具有浮雕结构的1欧元硬币)表现出3个明显不同的高度级，可通过模拟设置进行说明。
因此，VirtualLab可对这种基于部分相干光干涉测量的轮廓扫描系统进行仿真。
5. 总结
迈克尔逊干涉仪及其在高度扫描仪中白光干涉图样的研究
4. 仿真
以光线追迹对干涉仪的仿真。
5. 计算
采用几何场追迹Plus引擎以计算干涉图样。
6. 研究
测绘扫描仪的仿真和样本高度轮廓的测量
利用VirtualLab软件可对迈克尔逊干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
扩展阅读
1. 扩展阅读
以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
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