F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析（上）

cherryjhy · 发表于 2023-3-30 17:43:40

激光扫描系统（LSC.0002 v1.0）

应用案例概述

系统细节

 光源
– 绿光二极管
 元件
– 双轴振镜扫描仪
– F-Theta物镜
 探测器
– 场曲和畸变探测器
– 光束强度剖面探测器
– 焦点区域探测器
– 光束参数探测器
 模拟/设计
– 光线追迹：分析扫描场尺寸，场曲以及畸变
– 场追迹：考虑衍射效应，进行更精确的光束尺寸和剖面的研究

系统说明

激光扫描系统的性能评估

 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜，在一维扫描过程中（沿入射角Theta），通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。
 此外，计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。

模拟和设计结果

其他的VirtualLab特征

在此案例中，你将从以下选择的特征中获益：
 各种探测器
- 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置
- 测量探测器平面上的光束位置
- 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场
 参数耦合
- 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位
 参数运行
- 估计扫描场尺寸
- 生成场曲和畸变图

总结

VirtualLab可以
 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统
 分析目标平面上的光束偏转
- 通过光线追迹来计算扫描场尺寸，场曲和畸变
- 通过几何场追迹来计算光束剖面
- 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点