光整形>衍射光学
任务说明
灵活地导出制造数据：
- 平滑的界面
- 量化界面
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列
亮点
导出各种表面形状的制造数据
导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面
一般界面的制造数据
支持文件格式：
- 纯文本
- ASCII码
- 点云
- CAD格式（例如，STL，IGES）
STL导出平滑界面（例如Asphere）
采样高度剖面的STL导出
量化界面的GDSII导出
量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。
这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。
文档和技术信息
PC用于模拟的规格
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