ACD系列研发升级 | 为光学检测类设备赋能

若宸2017 · 发表于 2023-3-6 13:56:12

应用案例
力矩电机在光学检测中的应用
行业背景

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近年来，在半导体、光伏行业中，力矩电机得到了越来越广泛的推广和应用。在这些应用中，大部分运动要求都是点到点，即运动过程并非重点关注项，而是着重关注到位精度，因此对电机的重复精度提出了高要求。
此类应用普遍都要求电机的重复精度在±1~±2角秒之间（1角秒=1/3600度），较少关注电机转动时的速度波动情况，对于客户来说只要到位精度准确，便基本不影响应用。
客户需求
然而，有些特殊的应用场景却对电机提出了不一样的要求。
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。通常使用双电机运行，对位置轻微波动十分敏感，因此它对电机的速度波动要求极高。
当电机运行在1000rpm左右时，电机的速度波动率需控制在千分之一至万分之一以内。此外，该应用对电机的轴跳精度要求也较高，通常要求电机的轴跳在5um以内。
产品推介
力矩电机
雅科贝思力矩电机——ACD系列电机是无铁芯无刷电机，不会产生任何齿槽扭矩，从而可以实现平滑运动以及较低的速度脉动。独特的绕组设计使其拥有高扭矩密度。

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ACD系列

电机采用无铁芯设计，无齿槽扭矩，低速度波动
集成高精密轴承，标准品轴向径向端跳可低至10μm（经过特殊定制可达5μm）
内置高精度光栅编码器，电机重复精度可达±3arcsec
中孔设计，12mm~25mm，方便客户走线以及布局光学反馈设备

定制化解决方案
ACD系列作为雅科贝思标准品电机应用于各行各业之中，但在端跳、速度波动等一些参数方面暂时无法满足类似椭偏仪这样的设备。
因此，在ACD系列的基础上，雅科贝思经过数月的持续研发升级，及多轮产品迭代，最终开发出能完美匹配此类对速度波动有极高要求的产品。
无论是正装还是侧装，其速度波动率均可实现0.05%（实测基于1200rpm，搭配合适驱动）。从实测数据看，新研发产品已达到该应用领域的一流设计水准。
同时，电机的轴跳可以轻松实现5μm以内精度。

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新研发产品速度波动实测结果

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新研发产品轴跳测试实测结果

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