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检查微型晶片的光学系统

cherryjhy 发表于 2023-2-24 17:52:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

成像系统>包括光栅

任务/系统说明

亮点

 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)）
 严格分析光栅衍射效率
 考虑入射光的方向分布

说明：光源

说明：光束分束器

说明：检测透镜系统

说明：微型晶片

说明：检测物镜

说明：探测器

结果：3D光线追迹（只有0级）

结果：3D光线追迹（所有级）

结果：光线追迹

结果：场追迹

结果：线性偏振光的场追迹

文档和技术信息

光学系统, 光栅, 复杂光学系统, 光束分束器, 微型晶片

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