用于微结构晶片检测的光学系统

摘要

在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。

建模任务

结果

文件信息

光学系统, 半导体产业, 高NA物镜, 图像解析度, 紫外波长范围

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