方形晶胞

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cherryjhy 发表于 2023-2-14 08:57:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
这是一个简单的二维光栅的案例,它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体),并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。
1-220316204Ra15.png


光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
1-220316204U4558.png

S偏振光照明的场矢量


1-220316204921524.png

P偏振光照明的场矢量

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。

参数扫描

Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表,显示了反射和透射衍射级次的强度:
1-220316205021100.png


在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下,其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系

1-22031620505B17.png


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