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光学断层扫描干涉法

cherryjhy 发表于 2023-2-8 17:29:06 | 显示全部楼层 |阅读模式

摘要

扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性，只有当光程差在相干长度内，干涉图案才会出现。因此，它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪，用于测量具有平滑变化前表面的样品。

建模任务

结果

文件信息

扫描干涉法, 表面高度测量, 光程差, 微观测量, 氙灯

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