JCMSuite应用:光场通过六方晶胞的近场分析

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cherryjhy 发表于 2023-2-7 08:47:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
这是一个简单的二维光栅的例子,具有双重周期(六方)晶格。三维单元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含两个不同的菱形(平行六面体),位于衬底上,被背景材料包围。我们选择了一个直角线单元晶胞(最小原始单元格)来避免结构的计算域边界的不利切割。案例中的材料选择为铬(菱形),玻璃(基底)和空气(背景材料)。
1-220Q113063M05.png


光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度
1-220Q1130FN28.png

S偏振光照明的场矢量


1-220Q1130HC58.png

P偏振光照明的场矢量

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。

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