白光迈克尔逊干涉仪

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cherryjhy 发表于 2022-11-21 08:47:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
1.摘要

白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。


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2. 建模任务

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3. 干涉条纹的变化

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4. 走进VirtualLab Fusion

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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程

  • 输入场设置
  • 基本光源模型[视频教程]
  • 定义元件的位置和方向
  • 光路图II:位置和方向[视频教程]
  • 正确设置非序列追迹通道
  • 非序列追迹的通道设置[使用案例]
  • 使用“参数运行”检查影响/变化
  • “参数运行文件”的使用[使用案例]
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6. VirtualLab Fusion 技术

1-19120412051Q53.png

7. 文件信息

1-19120412053b14.png


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