如何在PanDao软件中输入形状精度参数

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Trigger 发表于 7 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
PanDao软件当前可以接受ISO10110标准定义的形状精度参数格式3/A(B),其中A代表功率公差,B代表不规则性。
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测量单位是条纹数,表示的是波前偏差(非表面高度偏差),该方法源自光学大师手工抛光制作测试板(T)进行面形偏差测量的传统技术(该检测装置也见于斐索干涉仪中)。
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被测表面(S)的面形误差(表面高度H)是通过将表面的形状与测试板(T)的标准形状(通常精度<1/20波长)进行对比测量得到的。具体方法是使测试板反射光(T')与待测面反射光(S')发生干涉,此时表面S的高度偏差H在干涉图中表现为2*H(即波前差)。
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PanDao软件默认以546.07nm波长(汞绿光谱线)读取形状精度参数3/A(B)。546.1nm波长的光是由汞蒸气灯在电激发下产生的绿色发射谱线,在激光技术问世前广泛应用于光学检测、对准及校准。根据ISO10110标准,用户可通过修改3/@lambda中的相关条目来自由设定其它检测波长。
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例如,当不规则性B对应的高度偏差H为1微米时,B = (1000/546.07)*2 = 3.66条纹;若功率误差对应高度偏差为2微米,则该表面的形状精度参数为3/7.32(3.66)。

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