分类: 包围圈能量
衍射圈入能量（分数）。该操作数计算距离(Dist.)定义参考点的距离处圈入，方形圈入，仅x方向，或y方向的狭缝的衍射能量分数。对于有焦模式，距离单位是微米。对于无焦模式，距离单位是无焦单位。 除了Dist，选项和设置与DENC一样，在这里它用于距离，在该距离处达到期望能量的分数。也可参考DENC，GENC和XENC。 如果Dist定义的点的圈入能量非常接近100%，返回分数为1e+10；这样做是为了提高效率。
