用于光学检测的斐索干涉仪

摘要

斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。



建模任务



测试表面



非序列追迹



通用探测器和探测器附加组件



总结-组件…




观测下的倾斜平面



被观测圆柱面



被观测球面