镀膜产品的常见问题，部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的问题，镀膜终的品质是整个光学零件加工的（特别是抛光、清洗）的综合反映，对于出现镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的原因，对策改善才能取得成效。 膜脏（也称白压克） 现象：镜片膜层表面或内部有一些点子（不是膜料点）有些可以擦除，有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。 产生原因： 1、真空室脏，在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上，形成灰点层。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜） 2、镜圈或碟片脏，有浮点灰尘，在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜） 3、镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜） 4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难以擦除。（膜外） 5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏，充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。（膜外） 6、 作业员人为带来的灰尘污染（膜内膜外） 7、 工作环境中灰尘过多 改善思路：杜绝灰尘源 改善对策： 1、工作环境改造洁净车间，严格按洁净车间规范实施。 2、尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。 3、 真空室周期打扫，保持清洁。 02 膜外白雾 现象：镀膜完成后，表面有一些淡淡的白雾，用丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（又称：可擦拭压克） 分析：膜外白雾的成因较为复杂，可能的成因有： ①、膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； ②、蒸发角过大，膜结构粗糙。 ③、温差：镜片出罩时内外温差过大 ④、潮气；镜片出罩后摆放环境的潮气 ⑤、真空室内Polycold解冻时水汽过重 ⑥、蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 ⑦、膜与膜之间的应力 改善思路：膜外白雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。 改善对策： 1、改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境（干燥、清洁） 2、降低出罩时的镜片温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应力。 3、改善充氧（加大），改善膜结构。 4、适当降低蒸发速率，改善柱状结构 5、离子辅助镀膜，改善膜结构 6、加上polycold解冻时的小充气阀（其功能是及时带走水汽） 7、从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。 8、改善基片表面粗糙度。 9、注意polycold解冻时的真空度。 03 膜内白雾 白雾形成在膜内，无法用擦拭方法祛除。 可能的成因： ①、基片脏，附着前工程的残留物 ②、镜片表面腐蚀污染 ③、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配。 ④、氧化物充氧不够。 ⑤、一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 ⑥、基片进罩前（洗净后）受潮气污染 ⑦、洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 ⑧、真空室脏、水气过重 ⑨、环境湿度大 改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身的可能是膜料匹配问题。 改善对策： 1、改进膜系，层不用氧化锆。 2、尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在短时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。 3、真空室在更换护板、清洁后，能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。 4、改善环境 5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染。 6、改善洗净、擦拭效果。 7、改善膜匹配（考虑层用Al2O3） 8、改善膜充氧和蒸发速率（降低） 9、加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10、抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。 （文章来源：本文转载于网络平台，如有什么不当之处请随时联系我们，我们将及时进行修改。）  功能强大 ★TFCalc 是一个光学薄膜设计和分析的工具，这里有按顺序排列介绍了 TFC 的功能：吸收、有效镀膜、角度匹配、双锥形的穿透、黑体光源、色彩优化、约束、继续优化目标、派生目标、探测器、散射公式、电场强度、同等折射率、同等堆栈、获得材质、全局优化、组优化、发光体、膜层敏感性、局部优化、多重环境、针优化、光学监控、光学密度、相位移动、psi、发光分布、折射率的确定、反射、敏感度分析、堆栈公式、综合、穿透率、隧道效应、可变材料。 创新 ★TFCalc 软件是膜系设计软件中提供创新方法的领导者。例如，TFCalc 允许活动材料-材料的折射率随着外部影响而改变。这个功能是其它商业软件没有的功能。 容易使用 ★TFCalc 是标准的 windows 和苹果机程序；薄膜设计工程师利用菜单、对话框和窗口来输入并显示结果。 ★Software Spectra 努力让 TFCalc 软件尽可能的容易使用，特别是对仅仅偶尔使用软件的工程师来说这一点更加重要。TFCalc 软件包中包含了大量的设计实例。 多种平台 TFCalc 可以在以下计算机和操作系统下工作： ★运行 windows 3.1 ，3.11， 95，98，2000，7,XP 的 PC。 ★运行 System 7 或更新版本的苹果计算机。 ★TFCalc 所输出的档格式兼容这两个平台，让你和同时可以共享数据。 |
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