F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
激光扫描系统（LSC.0002 v1.0）应用案例概述
系统细节
光源
– 绿光二极管
元件
– 双轴振镜扫描仪
– F-Theta物镜
探测器
– 场曲和畸变探测器
– 光束强度剖面探测器
– 焦点区域探测器
– 光束参数探测器
模拟/设计
– 光线追迹：分析扫描场尺寸，场曲以及畸变
– 场追迹：考虑衍射效应，进行更精确的光束尺寸和剖面的研究
系统说明
激光扫描系统的性能评估
一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜，在一维扫描过程中（沿入射角Theta），通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。
此外，计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。
模拟和设计结果
其他的VirtualLab特征
在此案例中，你将从以下选择的特征中获益：
各种探测器
- 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置
- 测量探测器平面上的光束位置
- 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场
参数耦合
- 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位
参数运行
- 估计扫描场尺寸
- 生成场曲和畸变图
总结
VirtualLab可以
模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统
分析目标平面上的光束偏转
- 通过光线追迹来计算扫描场尺寸，场曲和畸变
- 通过几何场追迹来计算光束剖面
- 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点
应用案例详述
系统参数
应用案例内容
LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。
在这个案例中，通过模拟扫描过程来分析F-Theta物镜的场区和畸变。
相对于LSC.0001，显示了性能提高。
强烈建议首先阅读LSC.0001。
file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd
模拟任务
连续激光模
规格：输入激光光束
激光组件中的单模二极管激光器
规格：电流反射镜定位系统
典型双轴振镜扫描仪
规格：F-Theta物镜概述
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