用于高NA显微镜成像的工程化PSF
摘要与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
设计任务
仅位相透射设计（IFTA）
仅位相透射设计（IFTA）
超表面晶胞分析
构建超光栅
初始超表面设计的评估
参数优化
优化超光栅设计的评估
走进VirtualLab
VirtualLab Fusion的工作流程
分析超表面晶胞
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
构造超光栅
分析光栅衍射效率
- 光栅级次分析 [用例]
光栅结构参数优化
VirtualLab Fusion技术
文件信息
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