锥形相位掩模的Talbot像
摘要在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。
建模任务
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
某一位置的Talbot图样
某一位置的Talbot图样
不同位置的Talbot图样
不同位置的Talbot图样
沿Z轴的强度
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VirtualLab Fusion的工作流程
构建光栅结构- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]
通过参数运行计算不同位置的强度- 参数运行文件的使用 [用例]
VirtualLab Fusion技术
文件信息
延伸阅读- 超稀疏介质纳米线栅偏振片- 光栅级次分析器- Talbot效应的建模
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