紫外光栅偏振片的参数优化（下）
10. 优化@193nm结果http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/160510/1-160510221430G0.png
优化结果：
光栅高度：124.2nm
占空比：31.6%
Ex透过率：43.1%
偏振度：50.0
优化后的偏振片满足所需的光学功能，并达到给定的技术要求。
http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/160510/1-160510221455F2.png
得到的光栅结构表现出与在193nm波长下相适应的特性，对于所使用的波长(紫外或极紫外)来说这是极具挑战性的。
由于在小于300nm波长时材料参数的变化，透射表现出较差的一致性。
因此，在第二个步中，将偏振片在特定的光谱范围内进行一致性优化。
11. 300nm到400nm波长范围的优化
http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/160510/1-16051022152a95.png
初始参数：
光栅高度：80nm
占空比：40%
参数范围：
光栅高度：50nm—150nm
占空比：20%—50%(与20nm—50nm的脊高相一致)
评价函数：偏振度目标值为50，要求Ex (TM) 透过率不低于40%。此外，透射一致性偏差不超过5%
http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/160510/1-16051022155S48.png
优化结果：
光栅高度：101.8nm
占空比：20.9%
Ex一致性透过率：5%（300nm到400nm之间）
偏振对比度：50.0
优化后的偏振片满足所需的光学功能，并达到给定的技术要求，尤其是Ex 偏振光的透射一致性。
12. 结论
应用的偏振分析器可以评价偏振光栅与波长和角度的关系。(同样适用于极紫外光谱范围)
VirtualLab参数优化工具箱提供了不同的优化方式，用以改善提高光学元件的性能
(如Downhill-Simplex-algorithm)
通过选择合适的评价函数(包括参数权重)可使优化更加合理化，并满足独立的要求。
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