cherryjhy 发表于 2023-3-16 08:41:58

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微

任务/系统视图

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亮点

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 显微镜系统中光栅的全矢量分析
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换

说明:光源

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说明:透镜系统

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说明:样品结构

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说明:探测器

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结果:3D光线追迹

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结果:光线追迹

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结果:光线追迹衍射级数

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结果:场追迹采样平面

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结果:场追迹焦平面

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结果:减小光栅周期

随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。

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文档和技术信息

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