cherryjhy 发表于 2022-12-26 17:05:32

具有变化周期的亚波长光栅成像



摘要

当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。



1. 建模任务



2. 结果





3. 文件和技术信息








页: [1]
查看完整版本: 具有变化周期的亚波长光栅成像